随着智能手机、云计算、人工智能和物联网等高新技术的普及,半导体市场需求迅速增长,“快”速检测被急切需求着。
三丰的高精度影像测量机,长期服务于全球制造业而获得的经验积累,为半导体行业上、中、下游快速的测量需求提供了理想的解决方案。
倒装芯片(Flip chip)广泛应用于高端物联网设备等电子产品中,是构建智能化产品的基础单元之一。
芯片表面的平整程度会影响其连接效果,大多数半导体厂商会以倒装主板中心点为原点,中心线为轴线,对各测量部位相对于原点的X方向和Y方向的差的绝对值(坐标差)进行评价分析,测量坐标差。
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芯片表面凸点繁多,线路板布线复杂,接触式测量难以实现快速的批量检测,按照一般的非接触式的测量方法,通常是对每个测量部位先对焦再测量,耗费的时间太长。
影像测量机QV Pro的TAF激光自动追踪功能,对于芯片这类非平整表面(且高度差变化不大)进行扫描时,无需停顿式对焦,从而大大提高了测量效率。
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TAF:激光自动跟踪对焦,工作原理是通过物镜中的同轴激光进行自动对焦,使Z轴实时追踪到被测物的高度变化,自动进行高度调整,保证对焦清晰。
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此外,在多层基板IC组件的测量中,如需测量配线的线宽和线距、过孔直径、表面粗糙度时,还可使用白光干涉仪WLI,利用与工件之间产生的白光干涉,可实现细微领域的表面分析(粗糙度等)以及形状(数微米的不规则)的高精度3D测量。
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